Agrandissement d'une demi-sphère de silice recouvrant une pointe de silicium. Chaque demi-sphère d'o

Agrandissement d'une demi-sphère de silice recouvrant une pointe de silicium. Chaque demi-sphère d'oxyde doit à nouveau être gravée de façon à ce que seule l'extrémité de la pointe qu'elle recouvre soit saillante. Seule cette partie sera, en effet, utilisée comme résonateur. Ces micromachines ou Mems (Micro-Electro-Mechanical Systems) sont des composants électroniques très rapides qui comportent au moins un élément mobile ou vibrant. Intégrés à l'électronique, ils permettent d'économiser de l'énergie et de réduire la surface de ce composant dans les téléphones portables.