Apex de pointes encapsulées à la base par une couche épaisse de silice, vus au microscope électroniq

Apex de pointes encapsulées à la base par une couche épaisse de silice, vus au microscope électronique à balayage. Cette rangée de pointes correspond à un dispositif employant plusieurs résonateurs en parallèle, ayant en commun les électrodes de transduction. Pour obtenir des pointes encore plus acérées, les chercheurs procèdent à deux oxydations successives du piédestal du Silicium. Ces micromachines ou Mems (Micro-Electro-Mechanical Systems) sont des composants électroniques très rapides qui comportent au moins un élément mobile ou vibrant. Intégrés à l'électronique, ils permettent d'économiser de l'énergie et de réduire la surface de ce composant dans les téléphones portables.