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Reference
20030001_1254
Apex de pointes encapsulées à la base par une couche épaisse de silice, vus au microscope électroniq
Apex de pointes encapsulées à la base par une couche épaisse de silice, vus au microscope électronique à balayage. Cette rangée de pointes correspond à un dispositif employant plusieurs résonateurs en parallèle, ayant en commun les électrodes de transduction. Pour obtenir des pointes encore plus acérées, les chercheurs procèdent à deux oxydations successives du piédestal du Silicium. Ces micromachines ou Mems (Micro-Electro-Mechanical Systems) sont des composants électroniques très rapides qui comportent au moins un élément mobile ou vibrant. Intégrés à l'électronique, ils permettent d'économiser de l'énergie et de réduire la surface de ce composant dans les téléphones portables.
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