Jauges de contraintes en technologie silicium microcristallin transféré à la surface d’un substrat composite flexible

Composant en silicium couche mince transféré à la surface d’un substrat composite (fibre de verre/résine époxy) par une technologie brevetée à l’IETR et qui fait l’objet d’un contrat de prématuration CNRS (3DComposmart). Les composants intégrés sont de type jauges de contrainte. Le matériau sensible est le silicium possédant un facteur de jauge supérieur aux technologies existantes (jauges de contrainte métalliques) lui conférant ainsi de meilleures propriétés pour détecter des déformations de matériaux structurels comme les composites. L’application visée est la surveillance de l’intégrité physique de matériaux soumis à des contraintes mécaniques. La centrale technologique NanoRennes de l’IETR accompagne les développements technologiques autour de cette thématique car elle possède le savoir-faire du dépôt de silicium à basse température par PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition).