Production year
2009
© Emmanuel PERRIN/CNRS Images
Reference
20090001_1223
MEB ou microscope à balayage électronique. Observation de microdisques d'AlGaN (nitrure d'aluminium
MEB ou microscope à balayage électronique. Observation de microdisques d'AlGaN (nitrure d'aluminium et de gallium, semi-conducteur utilisé pour fabriquer des LED) composés d'une couche de 15 nanomètres d'AlN (nitrure d'aluminium) et d'une couche de 120 nanomètres d'AlGaN. Les formes ont été obtenues par 2 types de gravures successives. Un première gravure dite sèche (ionique réactive) puis une gravure chimique acide.
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