Alignement du faisceau d'électrons du microscope électronique en transmission I2TEM

Alignement du faisceau d'électrons du microscope électronique en transmission I2TEM (In situ interferometry transmission electron microscope) du CEMES (Centre d'élaboration de matériaux et d'études structurales). Ce microscope permet notamment d'analyser les déformations dans les transistors, par holographie électronique. Il s'agit d'un microscope cohérent à émission de champ froide, unique car dédié à l'interférométrie électronique, la microscopie de Lorentz et les expériences in situ. L'I2TEM est équipé de 4 biprismes utilisés en holographie électronique et d'une double platine-objet permettant de travailler sur les échantillons hors du champ magnétique de l'objectif. Ce microscope permet de visualiser et de mesurer les champs magnétiques et électriques ainsi que les déformations à une échelle nanoscopique.