Micro-manipulateur à l'échelle nanométrique de petits objets, fonctionnant dans un microscope à bala

Micro-manipulateur à l'échelle nanométrique de petits objets, fonctionnant dans un microscope à balayage. On peut ainsi manipuler tout en observant ce qui se passe, en temps réel. Les déplacements grossiers (jusqu'au micromètre) sont assurés par trois tables à micro-déplacement mues par trois moteurs à courant continu, pilotées par un joystick par l'intermédiaire d'un micro-contrôleur. Les déplacements fins, dans les trois directions, sont obtenus jusqu'à l'échelle nanométrique par des céramiques piézo-électriques pilotées par des alimentations à haute tension. La résolution en déplacement est limitée par les vibrations de l'outil.