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Reference
20140001_1443
Test interférométrique sur MOEMS
Réglage de l'interféromètre d'un banc optique, permettant de mesurer avec une précision sub-nanométrique la qualité de surface et les déformations statiques et dynamiques de composants Micro-opto-électro-mécaniques (MOEMS). Afin de reproduire l'environnement spatial, les tests des MOEMS vont être effectués dans une petite chambre à vide cryogénique, montée face à l'interféromètre. L'objectif du programme de recherche est d'étudier les composants MOEMS en vue de les intégrer dans les instruments astronomiques du futur.
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