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Reference
20140001_1444
Test interférométrique sur MOEMS
Discussion autour de mesures effectuées sur un banc de caractérisation par interférométrie de composants Micro-opto-électro-mécaniques (MOEMS). Ce banc permet de mesurer avec une précision sub-nanométrique la qualité de surface et les déformations statiques et dynamiques des composants MOEMS. Des mesures en environnement spatial sont possibles à l'aide d'une petite chambre à vide cryogénique montée face à l'instrument. L'objectif du programme de recherche est d'étudier les composants MOEMS en vue de les intégrer dans les instruments astronomiques du futur.
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