Test interférométrique sur MOEMS

Matrice de micro-miroirs, développée par le LAM et par l'EPFL (Suisse), en cours de test sur un banc de caractérisation par interférométrie. Ce banc permet de mesurer avec une précision sub-nanométrique la qualité de surface et les déformations statiques et dynamiques de composants micro-opto-électro-mécaniques (MOEMS). Afin de reproduire l'environnement spatial, les tests des MOEMS vont être effectués dans une petite chambre à vide cryogénique, montée face à l'interféromètre. L'objectif du programme de recherche est d'étudier les composants MOEMS en vue de les intégrer dans les instruments astronomiques du futur.