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20110001_0958

© Cyril FRESILLON/CNRS Images

Reference

20110001_0958

Substrat de pyrex, support d'une couche métallique microstructurée. Les microcomposants sont réalisé

Substrat de pyrex, support d'une couche métallique microstructurée. Les microcomposants sont réalisés par un empilement de couches de divers matériaux. Chaque couche est mise en forme par des techniques de lithographie, dépôts et gravure. Ces recherches sont effectuées au sein d'une plateforme de micro et nanotechnologies appartenant au réseau Renatech.

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