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20180113_0005
© Cyril FRESILLON / LPS / CNRS Images

Montage d'un microsystème électromécanique (MEMS) sur un porte-objet

Référence

20180113_0005

Année de production

2018

Taille maximale

41.72 x 27.77 cm / 300 dpi

Légende

Montage d'un microsystème électromécanique (MEMS) sur un porte-objet HennyZ dit in situ du microscope électronique en transmission à balayage NION CHROMATEM du Laboratoire de Physique des Solides (LPS). L'échantillon est déposé sur le support MEMS composé de plusieurs contacts électriques permettant de chauffer localement et/ou polariser électriquement l'échantillon. CHROMATEM permet de sonder localement la structure chimique, électronique et optique de nano-objets par spectroscopie de perte d'énergie des électrons et cathodoluminescence à l'échelle du nanomètre, voire à l'échelle de la colonne atomique. Ce microscope permet de développer des techniques originales de spectromicroscopie combinant photons et électrons en associant résolutions énergétique (jusqu'à 5 meV) et spatiale (en dessous de l'angström) ultimes. CHROMATEM est le premier microscope équipé à la fois d'un monochromateur de nouvelle génération, d'un correcteur d'aberrations sphériques, d'un porte-objet dit in situ et d'un système d'injection et de détection de lumière. Ce microscope est l'un des trois équipements de l'Equipex TEMPOS (Transmission Electron Microscopy at Palaiseau Orsay Saclay).

Institut(s)

Thématiques scientifiques

CNRS Images,

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