Microgyromètre fondé sur l'utilisation d'un microrésonateur en quartz

Microgyromètre fondé sur l'utilisation d'un microrésonateur en quartz avec des électrodes en or, réalisé par usinage chimique de wafers de quartz. La variation d'amplitude du résonateur est proportionnelle à la vitesse de rotation mesurée. Les bonnes performances des résonateurs en flexion utilisés sont : facteur de qualité de 100 000 pour une fréquence de 20 kHz. Ils permettent de réaliser des gyromètres de résolution 10 °/h. Ces capteurs sont utilisés dans les centrales inertielles de grande précision des missiles et des aéronefs. Cette photographie a été réalisée au sein de l'ONERA, membre du réseau d'excellence FIRST-TF porté par le CNRS.