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Référence
20180044_0022
Station sous pointes en salle blanche permettant de caractériser des microrésonateurs
Station sous pointes en salle blanche permettant de caractériser des microrésonateurs sur leur wafer de quartz, en fin de fabrication. Une fois les résonateurs usinés, ils sont excités via les électrodes pour mesurer leur impédance électrique sous air et ensuite sous vide. Cette photographie a été réalisée au sein de l'ONERA, membre du réseau d'excellence FIRST-TF porté par le CNRS.
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