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Référence
20170142_0031
Échantillon de nitrure de titane déposé sur un substrat de silicium de 100 micromètres d'épaisseur
Échantillon (1 cm x 1 cm) de nitrure de titane (TiN) déposé sur un substrat de silicium (Si) de 100 micromètres d'épaisseur. Ce type de substrat ultrafin est utilisé pour les mesures de variations de courbure en cours de croissance, permettant de remonter aux variations de contraintes dans la couche déposée.
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