Programmation d'un dépôt de couches minces sur un substrat de verre

Programmation des paramètres d’un dépôt de couches minces sur un substrat de verre à partir des pupitres de commande situés à l’arrière du Grand Coater, le plus grand bâti de dépôt sous vide au monde en 2016. Situé dans une salle blanche de 150 m², cet équipement est utilisé pour traiter des substrats de verre de grandes dimensions (jusqu’à 800 mm de diamètre) afin de les rendre réfléchissants. Conçu et développé par le Laboratoire des matériaux avancés (LMA), le Grand Coater utilise la technique de pulvérisation par faisceau d’ions (Ion beam sputtering). Les miroirs faibles pertes (350 mm de diamètre, 200 mm d’épaisseur, 40 kg) des interféromètres Advanced Virgo et Advanced Ligo ont été réalisés dans ce Grand Coater. Advanced Virgo et Advanced Ligo, situés respectivement en Italie et aux USA, sont des détecteurs d’ondes gravitationnelles.