Intervention sur une machine de dépôt de couches minces sur des substrats de verre

Intervention sur une machine (DIBS) de dépôt sous vide de couches minces de silicium ou de métaux sur des substrats de verre, dans une salle blanche. Elle utilise la technique de pulvérisation par faisceau d’ions (Ion beam sputtering). Le DIBS fut la première machine au Laboratoire des matériaux avancés (LMA) à utiliser cette technique. Conçue en interne, cela lui offre une très grande modularité et permet des changements d’équipements, de paramétrages ou de matériaux. Bien qu’ayant plus de 30 ans de fonctionnement, elle est toujours utilisée pour la production de petits échantillons et la recherche et développement de nouveaux matériaux. Certaines pièces des bancs d’injection ou de détection d’Advanced Virgo, un détecteur d’ondes gravitationnelles situé en Italie, ont été réalisées dans cet appareil.