Pointes de silicium obtenues à l'issue d'un enchaînement d'étapes technologiques comprenant une grav

Pointes de silicium obtenues à l'issue d'un enchaînement d'étapes technologiques comprenant une gravure RIE (gravure ionique réactive) du silicium, une oxydation thermique et une désoxydation qui permettent un effilage des structures pour la réalisation de Mems. Les micromachines ou Mems (Micro-Electro-Mechanical Systems) sont des composants électroniques très rapides qui comportent au moins un élément mobile ou vibrant. Cela leur permet d'agir directement sur la lumière, une onde électromagnétique ou une faible masse.