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Référence
20180004_0031
Poste de contrôle d’un bâti d’épitaxie par jets moléculaires assisté par plasma
Poste de contrôle d’un bâti d’épitaxie par jets moléculaires assisté par plasma, dédié à la croissance de Nanofils III-nitrures. PlatefOrme Élaboration des Matériaux (POEM) du C2N.
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