Centre d'élaboration de matériaux et d'études structurales (CEMES)

Transfert d'un échantillon entre le tunnel de transfert et le microscope à force atomique (AFM) sous ultravide. Ce microscope est intégré à l'usine sous ultravide (DUF) installée dans une salle blanche du bâtiment Pico-Lab au CEMES (Centre d'élaboration de matériaux et d'études structurales), consacré aux picotechnologies. L'usine sous ultravide a été conçue pour réaliser un dispositif de mesure des propriétés électroniques d'une molécule unique sur substrats isolants.

Formation d'un étudiant en thèse à l'utilisation de hottes de chimie à flux laminaire et à extraction totale, dans la salle blanche du bâtiment Pico-Lab du CEMES (Centre d'élaboration de matériaux et d'études structurales). Ces hottes à flux laminaire (HFL) permettent de garantir la sécurité des utilisateurs tout en ayant une atmosphère ultra propre.

Microscope électronique en transmission I2TEM (In situ interferometry transmission electron microscope) du CEMES (Centre d'élaboration de matériaux et d'études structurales). Ce microscope permet notamment d'analyser les déformations dans les transistors, par holographie électronique. Il s'agit d'un microscope cohérent à émission de champ froide, unique car dédié à l'interférométrie électronique, la microscopie de Lorentz et les expériences in situ. L'I2TEM est équipé de 4 biprismes utilisés en…

Introduction d'un échantillon depuis le sas, dans la chambre principale d'un microscope à double faisceau ionique et électronique FIB-SEM (Focused ion beam - Scanning electron microscope), installé dans une salle propre. Le chercheur s'apprête à commencer la procédure d'alignement de l'échantillon et le réglage des faisceaux. Ce microscope est utilisé pour l'usinage de motifs jusqu'à 20 nm, grâce au faisceau ionique focalisé qui grave la matière avec les atomes de gallium incidents, à l'image d…

Canne de transfert retirée d'un microscope à double faisceau ionique et électronique FIB-SEM (Focused ion beam - Scanning electron microscope), après l'introduction d'un échantillon. Ce microscope est installé dans une salle propre. Il est utilisé pour l'usinage de motifs jusqu'à 20 nm, grâce au faisceau ionique focalisé qui grave la matière avec les atomes de gallium incidents, à l'image d'un jet de sablage. Le microscope électronique permet d'observer la matière et l'usinage, avec une…

Chercheur entrant dans une salle propre du bâtiment Pico-Lab du CEMES (Centre d'élaboration de matériaux et d'études structurales). Une salle propre ou salle blanche est un espace dans lequel la quantité de poussières est limitée grâce à un système de filtration de l'air, de régulation du taux d'humidité et de la température. Cet espace garantit entre 10 000 et 100 particules de moins de 100 nm par m3 d'air. Le bâtiment Pico-Lab comprend en tout 600 m² de salles propres dédiées aux procédés de…

Transfert d'un échantillon (molécules sur substrat isolant) sur un microscope à force atomique (AFM) sous ultravide. Ce microscope est intégré à l'usine sous ultravide (DUF) installée dans une salle blanche du bâtiment Pico-Lab au CEMES (Centre d'élaboration de matériaux et d'études structurales), consacré aux picotechnologies. Cette usine sous ultravide comprend un tunnel de transfert et cinq postes de travail, pour la préparation et l'analyse de dispositifs à base de molécule unique sous…

Montage sur porte-objet d'un échantillon, un transistor pour la microélectronique, sous une loupe binoculaire. Cet échantillon sera ensuite analysé dans le microscope électronique en transmission I2TEM (In situ interferometry transmission electron microscope) du CEMES (Centre d'élaboration de matériaux et d'études structurales). Il s'agit d'un microscope cohérent à émission de champ froide, unique car dédié à l'interférométrie électronique, la microscopie de Lorentz et les expériences in situ…

Chargement d'un substrat, une galette de silicum, dans un masqueur à LED UV et positionnement du masque en verre. Cet appareil est installé dans une salle blanche. Il est utilisé dans le cadre d'un procédé de lithographie laser, pour une première étape simple de lithographie pleine plaque, par exemple : des croix de repérage, des réseaux d'électrodes milli- ou micrométriques identiques.

Microscope électronique en transmission I2TEM (In situ interferometry transmission electron microscope) du CEMES (Centre d'élaboration de matériaux et d'études structurales). Il permet notamment d'analyser les déformations dans les transistors, par holographie électronique. L'I2TEM est un microscope cohérent à émission de champ froide, unique car dédié à l'interférométrie électronique, la microscopie de Lorentz et les expériences in situ. L'I2TEM est équipé de 4 biprismes utilisés en…

Microscope électronique en transmission I2TEM (In situ interferometry transmission electron microscope) du CEMES (Centre d'élaboration de matériaux et d'études structurales). Il permet notamment d'analyser les déformations dans les transistors, par holographie électronique. L'I2TEM est un microscope cohérent à émission de champ froide, unique car dédié à l'interférométrie électronique, la microscopie de Lorentz et les expériences in situ. L'I2TEM est équipé de 4 biprismes utilisés en…

Préparation d'un substrat dans la salle blanche du bâtiment Pico-Lab du CEMES (Centre d'élaboration de matériaux et d'études structurales), consacré aux picotechnologies. Ce substrat servira à la croissance de couches de nitrure d'aluminium AIN(0001) dans le bâti d'épitaxie par jets moléculaires de l'usine sous ultravide du bâtiment Pico-Lab. Cette usine a été conçue pour réaliser un dispositif de mesure des propriétés électroniques d'une molécule unique sur substrats isolants tels que AlN(0001…

Vue d'ensemble de l'usine sous ultravide (DUF) installée dans la salle blanche du bâtiment Pico-Lab au CEMES (Centre d'élaboration de matériaux et d'études structurales), consacré aux picotechnologies. Cette usine sous ultravide, de 7,5 m de long et de 4 m de large, est composée d'un tunnel de transfert et cinq postes de travail pour la préparation et l'analyse d'échantillons sous ultravide. Elle comprend un bâti d'épitaxie par jets moléculaires, un spectromètre de masse, une chambre de…

Alignement du faisceau d'électrons du microscope électronique en transmission I2TEM (In situ interferometry transmission electron microscope) du CEMES (Centre d'élaboration de matériaux et d'études structurales). Ce microscope permet notamment d'analyser les déformations dans les transistors, par holographie électronique. Il s'agit d'un microscope cohérent à émission de champ froide, unique car dédié à l'interférométrie électronique, la microscopie de Lorentz et les expériences in situ. L'I2TEM…

Microscope électronique en transmission I2TEM (In situ interferometry transmission electron microscope) du CEMES (Centre d'élaboration de matériaux et d'études structurales). Il permet notamment d'analyser les déformations dans les transistors, par holographie électronique. L'I2TEM est un microscope cohérent à émission de champ froide, unique car dédié à l'interférométrie électronique, la microscopie de Lorentz et les expériences in situ. L'I2TEM est équipé de 4 biprismes utilisés en…

Vue de l'extrémité du tunnel de transfert de l'usine sous ultravide (DUF) installée dans la salle blanche du bâtiment Pico-Lab au CEMES (Centre d'élaboration de matériaux et d'études structurales), consacré aux picotechnologies. Le tunnel de transfert permet de relier cinq postes de travail pour la préparation et l'analyse d'échantillons sous ultravide. L'usine sous ultravide comprend un bâti d'épitaxie par jets moléculaires, un spectromètre de masse, une chambre de préparation, un microscope à…

Pico-Lab est le nouveau bâtiment de recherche du CEMES (Centre d'élaboration de matériaux et d'études structurales) consacré aux picotechnologies. Les scientifiques y étudient notamment les molécule-machines - des molécules capables de remplir seules une fonction (calcul, engrenage, moteur...) - et les circuits électroniques construits atome par atome. Ce bâtiment accueille désormais une salle blanche dans laquelle sont installés une micro-usine en ultravide, ainsi qu'un ensemble de machines…

Mise en place d'un échantillon, un transistor pour la microélectronique, dans le microscope électronique en transmission I2TEM (In situ interferometry transmission electron microscope) du CEMES (Centre d'élaboration de matériaux et d'études structurales). Il s'agit d'un microscope cohérent à émission de champ froide, unique car dédié à l'interférométrie électronique, la microscopie de Lorentz et les expériences in situ. L'I2TEM est équipé de 4 biprismes utilisés en holographie électronique et d…

Montage sur porte-objet d'un échantillon, un transistor pour la microélectronique, sous une loupe binoculaire. Cet échantillon sera ensuite analysé dans le microscope électronique en transmission I2TEM (In situ interferometry transmission electron microscope) du CEMES (Centre d'élaboration de matériaux et d'études structurales). Il s'agit d'un microscope cohérent à émission de champ froide, unique car dédié à l'interférométrie électronique, la microscopie de Lorentz et les expériences in situ…

Montage sur porte-objet d'un échantillon, un transistor pour la microélectronique, sous une loupe binoculaire. Cet échantillon sera ensuite analysé dans le microscope électronique en transmission I2TEM (In situ interferometry transmission electron microscope) du CEMES (Centre d'élaboration de matériaux et d'études structurales). Il s'agit d'un microscope cohérent à émission de champ froide, unique car dédié à l'interférométrie électronique, la microscopie de Lorentz et les expériences in situ…

Vue d'ensemble de l'usine sous ultravide (DUF) installée dans la salle blanche du bâtiment Pico-Lab au CEMES (Centre d'élaboration de matériaux et d'études structurales), consacré aux picotechnologies. Cette usine sous ultravide, de 7,5 m de long et de 4 m de large, est composée d'un tunnel de transfert et cinq postes de travail pour la préparation et l'analyse d'échantillons sous ultravide. Elle comprend un bâti d'épitaxie par jets moléculaires, un spectromètre de masse, une chambre de…

Transfert d'un échantillon entre le tunnel de transfert et le microscope à force atomique (AFM) sous ultravide. Ce microscope est intégré à l'usine sous ultravide (DUF) installée dans une salle blanche du bâtiment Pico-Lab au CEMES (Centre d'élaboration de matériaux et d'études structurales), consacré aux picotechnologies. L'usine sous ultravide a été conçue pour réaliser un dispositif de mesure des propriétés électroniques d'une molécule unique sur substrats isolants.

Introduction d'un échantillon dans un microscope à double faisceau ionique et électronique FIB-SEM (Focused ion beam - Scanning electron microscope), installé dans une salle propre. Le chercheur s'apprête à commencer la procédure d'alignement de l'échantillon et le réglage des faisceaux. Ce microscope est utilisé pour l'usinage de motifs jusqu'à 20 nm, grâce au faisceau ionique focalisé qui grave la matière avec les atomes de gallium incidents, à l'image d'un jet de sablage. Le microscope…

Positionnement d'une galette de silicium enduite de résine sensible aux UV, sur la platine d'un banc de lithographie laser. Cet échantillon doit être positionné sous le point focal du faisceau laser ultraviolet. L'appareil de lithographie est installé dans une salle propre. Il est utilisé pour des procédés de prototypage permettant de réaliser des motifs aussi divers que des électrodes, des engrenages, des guides d'ondes, des lentilles,... à l'échelle nanométrique, pour des applications…

Préparation d'un substrat dans la salle blanche du bâtiment Pico-Lab du CEMES (Centre d'élaboration de matériaux et d'études structurales), consacré aux picotechnologies. Ce substrat servira à la croissance de couches de nitrure d'aluminium AIN(0001) dans le bâti d'épitaxie par jets moléculaires de l'usine sous ultravide du bâtiment Pico-Lab. Cette usine a été conçue pour réaliser un dispositif de mesure des propriétés électroniques d'une molécule unique sur substrats isolants tels que AlN(0001…

Four haute température à 1 200 °C d'un bâti d'épitaxie par jets moléculaires. Il est intégré à l'usine sous ultravide (DUF) installée dans une salle blanche du bâtiment Pico-Lab au CEMES (Centre d'élaboration de matériaux et d'études structurales), consacré aux picotechnologies. L'usine sous ultravide a été conçue pour réaliser un dispositif de mesure des propriétés électroniques d'une molécule unique sur substrats isolants tels que le nitrure d'aluminium AlN(0001).

Transfert d'un échantillon (molécules sur substrat isolant) sur un microscope à force atomique (AFM) sous ultravide. Ce microscope est intégré à l'usine sous ultravide (DUF) installée dans une salle blanche du bâtiment Pico-Lab au CEMES (Centre d'élaboration de matériaux et d'études structurales), consacré aux picotechnologies. Cette usine sous ultravide comprend un tunnel de transfert et cinq postes de travail, pour la préparation et l'analyse de dispositifs à base de molécule unique sous…

Positionnement d'une galette de silicium enduite de résine sensible aux UV, sur la platine d'un banc de lithographie laser. Cet échantillon doit être positionné sous le point focal du faisceau laser ultraviolet. L'appareil de lithographie est installé dans une salle propre. Il est utilisé pour des procédés de prototypage permettant de réaliser des motifs aussi divers que des électrodes, des engrenages, des guides d'ondes, des lentilles,... à l'échelle nanométrique, pour des applications…

Positionnement d'une galette de silicium enduite de résine sensible aux UV, sur la platine d'un banc de lithographie laser. Cet échantillon doit être positionné sous le point focal du faisceau laser ultraviolet. L'appareil de lithographie est installé dans une salle propre. Il est utilisé pour des procédés de prototypage permettant de réaliser des motifs aussi divers que des électrodes, des engrenages, des guides d'ondes, des lentilles,... à l'échelle nanométrique, pour des applications…

Positionnement d'une galette de silicium enduite de résine sensible aux UV, sur la platine d'un banc de lithographie laser. Cet échantillon doit être positionné sous le point focal du faisceau laser ultraviolet. L'appareil de lithographie est installé dans une salle propre. Il est utilisé pour des procédés de prototypage permettant de réaliser des motifs aussi divers que des électrodes, des engrenages, des guides d'ondes, des lentilles,... à l'échelle nanométrique, pour des applications…

Vue d'ensemble de l'usine sous ultravide (DUF) installée dans la salle blanche du bâtiment Pico-Lab au CEMES (Centre d'élaboration de matériaux et d'études structurales), consacré aux picotechnologies. Cette usine sous ultravide, de 7,5 m de long et de 4 m de large, est composée d'un tunnel de transfert et cinq postes de travail pour la préparation et l'analyse d'échantillons sous ultravide. Elle comprend un bâti d'épitaxie par jets moléculaires, un spectromètre de masse, une chambre de…

Transfert d'échantillon (molécules sur substrat isolant) sur un microscope à force atomique (AFM) sous ultravide. Ce microscope est intégré à l'usine sous ultravide (DUF) installée dans une salle blanche du bâtiment Pico-Lab au CEMES (Centre d'élaboration de matériaux et d'études structurales), consacré aux picotechnologies. L'usine sous ultravide comprend un tunnel de transfert et cinq postes de travail, pour la préparation et l'analyse de dispositifs à base d'une molécule unique sous…

Cryostat faisant partie d'une instrumentation spécialement développée pour des mesures électriques à température contrôlée entre l'ambiante (20°C) et 300 mK (-273 °C), sous fort champ magnétique (0-16 teslas). Ces conditions sont requises pour une approche des circuits électroniques atomiques basée sur la structuration du micromètre au nanomètre du graphène, un feuillet d'un atome de carbone d'épaisseur. Plusieurs approches des circuits électroniques atomiques sont développées au sein du Pico…

A gauche : transfert d'un échantillon entre le tunnel de transfert et le microscope à force atomique (AFM) sous ultravide. Ce microscope est intégré à l'usine sous ultravide (DUF) installée dans une salle blanche du bâtiment Pico-Lab au CEMES (Centre d'élaboration de matériaux et d'études structurales), consacré aux picotechnologies. A droite : mise en place d'un échantillon, un transistor pour la microélectronique, dans le microscope électronique en transmission I2TEM (In situ interferometry…

Transfert d'un échantillon entre le tunnel de transfert et le microscope à force atomique (AFM) sous ultravide. Ce microscope est intégré à l'usine sous ultravide (DUF) installée dans une salle blanche du bâtiment Pico-Lab au CEMES (Centre d'élaboration de matériaux et d'études structurales), consacré aux picotechnologies. L'usine sous ultravide a été conçue pour réaliser un dispositif de mesure des propriétés électroniques d'une molécule unique sur substrats isolants.

Introduction d'un échantillon depuis le sas, dans la chambre principale d'un microscope à double faisceau ionique et électronique FIB-SEM (Focused ion beam - Scanning electron microscope), installé dans une salle propre. Le chercheur s'apprête à commencer la procédure d'alignement de l'échantillon et le réglage des faisceaux. Ce microscope est utilisé pour l'usinage de motifs jusqu'à 20 nm, grâce au faisceau ionique focalisé qui grave la matière avec les atomes de gallium incidents, à l'image d…

Vue de l'extrémité du tunnel de transfert de l'usine sous ultravide (DUF), installée dans la salle blanche du bâtiment Pico-Lab au CEMES (Centre d'élaboration de matériaux et d'études structurales), consacré aux picotechnologies. Le tunnel de transfert permet de relier cinq postes de travail pour la préparation et l'analyse d'échantillons sous ultravide. L'usine sous ultravide comprend un bâti d'épitaxie par jets moléculaires, un spectromètre de masse, une chambre de préparation, un microscope…

Chargement d'un substrat, une galette de silicum, dans un masqueur à LED UV et positionnement du masque en verre. Cet appareil est installé dans une salle blanche. Il est utilisé dans le cadre d'un procédé de lithographie laser, pour une première étape simple de lithographie pleine plaque, par exemple : des croix de repérage, des réseaux d'électrodes milli- ou micrométriques identiques.

Pico-Lab est le nouveau bâtiment de recherche du CEMES (Centre d'élaboration de matériaux et d'études structurales) consacré aux picotechnologies. Les scientifiques y étudient notamment les molécule-machines - des molécules capables de remplir seules une fonction (calcul, engrenage, moteur...) - et les circuits électroniques construits atome par atome. Ce bâtiment accueille désormais une salle blanche dans laquelle sont installés une micro-usine en ultravide, ainsi qu'un ensemble de machines…