Production year
2009
© Emmanuel PERRIN/LAAS/CNRS Images
Reference
20090001_0507
Plateforme micro et nanotechnologies : écrans de commande d'un équipement de lithographie électroniq
Plateforme micro et nanotechnologies : écrans de commande d'un équipement de lithographie électronique. Utilisée pour la mise en forme de résines électrosensibles, la lithographie électronique permet des résolutions nanométriques. C'est une technique au cœur du développement des nanotechnologies. Au premier plan, l'écran représente le dessin de la structure que l'on souhaite réaliser. Au second plan, l'écran visualise la structure réalisée.
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