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Reference
20120001_0089
Vue de profil, en microscopie électronique à balayage (MEB), de la partie supérieure de micropiliers
Vue de profil, en microscopie électronique à balayage (MEB), de la partie supérieure de micropiliers de silicium obtenus en usinant un substrat de silicium par un procédé de gravure profonde. La face plane supérieure montre une tache brillante, qui correspond à une goutte d'or. La rugosité observée sur les côtes des micropiliers provient de l'alternance de cycles d'attaque et de passivation du silicium.
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