Production year
2009
© Emmanuel PERRIN/LAAS/CNRS Images
Reference
20090001_0505
Plateforme micro et nanotechnologies : four automatisé pour la croissance et le dépôt de matériaux à
Plateforme micro et nanotechnologies : four automatisé pour la croissance et le dépôt de matériaux à base de silicium. Des substrats de silicium sont chargés sur les nacelles avant l'enfournement. A l'intérieur des fours les réactions chimiques entre le silicium et les gaz réactifs sont exacerbées par la chaleur. Cela permet la croissance ou le dépôt de matériaux (SiO2, Si3N4, SiNx, etc.) pour la réalisation de composants microélectroniques, optoélectroniques, de micro et nanosystèmes.
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