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Référence
20170142_0025
Porte-échantillon immergé dans un plasma à décharge luminescente
Porte-échantillon (au centre) immergé dans un plasma à décharge luminescente (ici de couleur bleue). Le plasma réactif (mélange de gaz argon et azote, Ar et N2) permet la synthèse de couches en nitrure de titane (TiN), utilisées comme revêtements durs pour les outils de coupe, mais aussi comme couche de métallisation en microélectronique.
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