Cluster de croissance d'oxydes fonctionnels composé de 2 bâtis d'ablation laser pulsé

Daniele Preziosi (à gauche) transfère un substrat dans un bâti d’ablation laser au sein d'un cluster de croissance d'oxydes fonctionnels. Diogo Vaz (à droite) transfère un échantillon pour analyse par spectrométrie d’électrons photoémis par les rayons X (X-ray photoelectron spectroscopy, XPS). Ce cluster est composé de 2 bâtis d'ablation laser pulsé (PLD - pulsed laser déposition), d’un bâti de pulvérisation cathodique et d’un système XPS pour réaliser des analyses in situ. En PLD, un laser pulsé vient ablater une cible constituée du matériau que les chercheurs veulent déposer en couches minces. Les atomes contenus dans le plasma ainsi créé se déposent sur un substrat et forment une couche mince.