Canne de transfert retirée d'un microscope à double faisceau ionique et électronique

Canne de transfert retirée d'un microscope à double faisceau ionique et électronique FIB-SEM (Focused ion beam - Scanning electron microscope), après l'introduction d'un échantillon. Ce microscope est installé dans une salle propre. Il est utilisé pour l'usinage de motifs jusqu'à 20 nm, grâce au faisceau ionique focalisé qui grave la matière avec les atomes de gallium incidents, à l'image d'un jet de sablage. Le microscope électronique permet d'observer la matière et l'usinage, avec une résolution d'un nm, sans endommager ou modifier la matière.