Evaporateur multi-sources pour la synthèse du supraconducteur à haute température critique YBa2Cu3O7

Evaporateur multi-sources pour la synthèse du supraconducteur à haute température critique YBa2Cu3O7 (Yttrium Baryum Cuivre Oxygène) en couches minces. Des canons à électrons sont utilisés pour vaporiser les matériaux qui se déposent sur un substrat chauffé à environ 800 °C en présence d'oxygène atomique. Un système de diagnostic in situ par diffraction d'électrons (RHEED) permet de suivre la croissance des couches minces au niveau atomique. Les couches minces sont l'ingrédient de base pour réaliser des nanostructures qui seront ensuite étudiées d'un point de vue fondamental (supraconductivité, transport quantique) ou utilisées dans des dispositifs supraconducteurs (capteurs magnétiques, détecteurs de photons térahertz, électronique rapide).