Procédés d'élaboration de films minces par MBE (Molecular Beam Epitaxy ou épitaxie par jets molécula

Procédés d'élaboration de films minces par MBE (Molecular Beam Epitaxy ou épitaxie par jets moléculaire). Banc de traitement MBE connecté à une microsonde AUGER. Cette technique de croissance cristalline repose sur une technologie ultra-vide basée sur l'évaporation séquentielle des constituants composant le film que l'on souhaite élaborer. L'avantage de cette méthode repose sur le contrôle de la croissance grâce à l'utilisation in situ d'appareils d'analyse. Ici, l'échantillon est transféré depuis le réacteur MBE vers la chambre d'analyse du spectromètre Auger à balayage.