Légende
Micropince piézoélectrique constituée de deux doigts de serrage ; elle permet de manipuler des objets dans une gamme de dimensions de quelques dizaines à quelques centaines de microns. Chaque doigt est un unimorphe piézoélectrique. Une commande en boucle fermée de position de chacun des doigts a été réalisée. Elle offre une précision de positionnement inférieure à 10 nm à l'extrémité d'un doigt, pour une bande passante de 500 Hz à 1 kHz. La mesure de ce positionnement (déflexion du doigt) est actuellement effectuée par un capteur laser extérieur à la micropince.
