19940001_0691
© Laurence MEDARD/CNRS Images

Masque en diamant pour la lithographie à rayons X. Support de masque en diamant réalisé au Laboratoi

Référence

19940001_0691

Année de production

1994

Taille maximale

29.51 x 19.47 cm / 300 dpi

Légende

Masque en diamant pour la lithographie à rayons X. Support de masque en diamant réalisé au Laboratoire d'Ingéniérie des Matériaux et des Hautes Pressions à Villetaneuse. Masque réalisé au Laboratoire de Microstructure et Microélectronique à Bagneux.

Délégation(s)

Thématiques scientifiques

CNRS Images,

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