
© Laurence MEDARD/CNRS Images
Masque en diamant pour la lithographie à rayons X. Support de masque en diamant réalisé au Laboratoi
Référence
19940001_0691
Année de production
1994
Taille maximale
29.51 x 19.47 cm / 300 dpi
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Masque en diamant pour la lithographie à rayons X. Support de masque en diamant réalisé au Laboratoire d'Ingéniérie des Matériaux et des Hautes Pressions à Villetaneuse. Masque réalisé au Laboratoire de Microstructure et Microélectronique à Bagneux.