Année de production
1994
© Laurence MEDARD/CNRS Images
Référence
19940001_0691
Masque en diamant pour la lithographie à rayons X. Support de masque en diamant réalisé au Laboratoi
Masque en diamant pour la lithographie à rayons X. Support de masque en diamant réalisé au Laboratoire d'Ingéniérie des Matériaux et des Hautes Pressions à Villetaneuse. Masque réalisé au Laboratoire de Microstructure et Microélectronique à Bagneux.
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