Machine d'insolation de motifs de microrésonateurs par photolithographie

Machine d'insolation de motifs de microrésonateurs par photolithographie. Une lampe à ultraviolet éclaire un wafer en quartz à travers un masque sur lequel sont inscrits les motifs. Ces microrésonateurs sont utilisés dans le domaine du Temps-fréquence, car ils représentent des références de temps avec une fréquence très stable. Ils sont aussi utilisés pour réaliser des capteurs de grande précision : accéléromètre, gyromètre, magnétomètre. Cette photographie a été réalisée au sein de l'ONERA, membre du réseau d'excellence FIRST-TF porté par le CNRS.