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Reference
20110001_0425
Tournette dans une salle blanche. Ce dispositif permet de réaliser des couches minces homogènes de r
Tournette dans une salle blanche. Ce dispositif permet de réaliser des couches minces homogènes de résines ou de liquides variés par spin coating (enduction centrifuge), tout en contrôlant l'épaisseur de la couche déposée. Ici, c'est une résine photosensible qui est déposée. La couche mince ainsi réalisée va être insolée par photolithographie. L'objectif est de réaliser des motifs en surface pour ensuite y déposer un matériau ou effectuer une gravure.
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