Pillars into flame

Rangées de piliers de la phase V2AlC vues en microscopie électronique à balayage. La phase V2AlC est un matériau monocristallin de la famille des phases MAX, qui combinent les propriétés des céramiques et des métaux. Ils ont été obtenus après gravure sèche, par gravure ionique réactive (RIE) au plasma (ICP). De forme carrée, ils sont hauts de 5 micromètres et leurs dimensions varient selon les rangées, entre 7 et 20 microns. Sur leurs bords, on voit les résidus de la résine photosensible appliquée sur le monocristal V2AlC avant de tracer par lithographie le motif sur lequel la gravure ICP-RIE a été appliquée à l'étape suivante. Cette image a participé au prix de l'image Art & Science C'Nano 2023, dans la catégorie "La recherche en nanosciences, une source de connaissances sur notre monde". Athanasios Gkountaras : "Avec cette image, je veux souligner la difficulté du doctorant à mener à bien son expérience. Malgré la création de la structure finale, il restait des problèmes à régler, tels que les résidus de résine photosensible. Ainsi, une meilleure compréhension de la physique à l'échelle nanométrique était nécessaire, et en particulier celle du procédé de gravure plasma."