Légende
Microgyromètre fondé sur l'utilisation d'un microrésonateur en quartz avec des électrodes en or, réalisé par usinage chimique de wafers de quartz. La variation d'amplitude du résonateur est proportionnelle à la vitesse de rotation mesurée. Les bonnes performances des résonateurs en flexion utilisés sont : facteur de qualité de 100 000 pour une fréquence de 20 kHz. Ils permettent de réaliser des gyromètres de résolution 10 °/h. Ces capteurs sont utilisés dans les centrales inertielles de grande précision des missiles et des aéronefs. Cette photographie a été réalisée au sein de l'ONERA, membre du réseau d'excellence FIRST-TF porté par le CNRS.
