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Référence
20170023_0039
Chambre d’évaporation thermique pour la réalisation de couches minces sous ultravide
Chambre d’évaporation thermique pour la réalisation de couches minces sous ultravide. Pilotage des paramètres de dépôt pour l’évaporation par canon à électrons et visualisation par hublot. Cette chambre est destinée au dépôt de nanostructures magnétiques pour l’électronique de spin et fait partie d’un ensemble expérimental sous vide, composé également d’une chambre de traitement et d’une chambre de pulvérisation cathodique.
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