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Référence
20170023_0038
Sas d’introduction des échantillons dans une chambre de pulvérisation cathodique
Sas d’introduction des échantillons dans une chambre de pulvérisation cathodique. Visualisation et transfert d’un échantillon dans cette chambre. Elle est destinée au dépôt de nanostructures magnétiques pour l’électronique de spin et fait partie d’un ensemble expérimental sous vide, composé également d’une chambre de traitement et d’une chambre pour l’évaporation thermique.
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