Bâti de dépôt de couches minces épitaxiées sur des monocristaux

Bâti de dépôt de type MBE (Molecular beam expitaxy). Ce réacteur permet de réaliser des couches minces épitaxiées sur des monocristaux. Il est utilisé dans le cadre de recherches prospectives sur de futures générations d’interféromètres gravitationnels. Ces instruments fonctionneront à température cryogénique et pourraient utiliser des couches optiques cristallines pour leurs miroirs. Ces couches d’un nouveau type sont développées dans ce bâti de dépôt.