Année de production
2013
© Cyril FRESILLON/CNRS Images
Référence
20130001_0763
Chargement d'un substrat, une galette de silicum, dans un masqueur à LED UV
Chargement d'un substrat, une galette de silicum, dans un masqueur à LED UV et positionnement du masque en verre. Cet appareil est installé dans une salle blanche. Il est utilisé dans le cadre d'un procédé de lithographie laser, pour une première étape simple de lithographie pleine plaque, par exemple : des croix de repérage, des réseaux d'électrodes milli- ou micrométriques identiques.
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