20090001_1224

© Emmanuel PERRIN/CNRS Images

MEB ou microscope à balayage électronique. Observation de microdisques d'AlGaN (nitrure d'aluminium

Référence

20090001_1224

Année de production

2009

Taille maximale

36.31 x 24.11 cm / 300 dpi

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Légende

MEB ou microscope à balayage électronique. Observation de microdisques d'AlGaN (nitrure d'aluminium et de gallium, semi-conducteur utilisé pour fabriquer des LED) composés d'une couche de 15 nanomètres d'AlN (nitrure d'aluminium) et d'une couche de 120 nanomètres d'AlGaN. Les formes ont été obtenues par 2 types de gravures successives. Un première gravure dite sèche (ionique réactive) puis une gravure chimique acide.

Laboratoire(s)

UPR10 - Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications (CRHEA)Site du laboratoire

Institut(s)

Délégation(s)

Thématiques scientifiques

Mots-clés

Aluminium
Composant électronique
Diode électroluminescente
Ecran
Microscope électronique à balayage
Nanogravure
Nanostructure
Nitrure de gallium
Ordinateur

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