© Hubert RAGUET / CNRS Images
Référence
20060001_0403
Microscope électronique à balayage à émission de champ (FESEM) couplé à un système de lithographie é
Microscope électronique à balayage à émission de champ (FESEM) couplé à un système de lithographie électronique. Ce système de nano-lithographie permet de réaliser des nano-objets avec des résolutions latérales allant jusqu'à 20 nm.
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