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Microscope électronique à balayage à émission de champ (FESEM) couplé à un système de lithographie électronique. Ce système de nano-lithographie permet de réaliser des nano-objets avec des résolutions latérales allant jusqu'à 20 nm.
© Hubert RAGUET/CNRS Photothèque
Microscope électronique à balayage à émission de champ (FESEM) couplé à un système de lithographie é
Reference
20060001_0403
Max. size
32.78 x 21.95 cm / 300 dpi
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