Analyse et caractérisation d'aiguilles de tungstène destinées à la fabrication et la caractérisation

Analyse et caractérisation d'aiguilles de tungstène destinées à la fabrication et la caractérisation des sources d'ions à métal liquide (LMIS) qui sont au coeur de la technologie des faisceaux d'ions focalisés (FIB). Le principe opératoire de ce type de sources d'ions dit "ponctuel" repose sur l'ionisation par évaporation de champ d'un film de gallium liquide recouvrant l'extrémité d'une aiguille de tungstène placée sous un vide poussé. Ici il est procédé à la mesure du rayon de courbure terminal d'une aiguille de tungstène ainsi qu'à l'analyse de son état de surface.