© Alain MURIOT/CNRS Images
Référence
19950001_1034
Etude des interfaces et de la croissance des matériaux déposés en couches minces par plasma.Réacteur
Etude des interfaces et de la croissance des matériaux déposés en couches minces par plasma.Réacteur de dépôt de couches minces par plasma radiofréquence. Ellipsomètre spectroscopique à modulation de phase.
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