19950001_1034

© Alain MURIOT/CNRS Images

Référence

19950001_1034

Etude des interfaces et de la croissance des matériaux déposés en couches minces par plasma.Réacteur

Etude des interfaces et de la croissance des matériaux déposés en couches minces par plasma.Réacteur de dépôt de couches minces par plasma radiofréquence. Ellipsomètre spectroscopique à modulation de phase.

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