Etape de la fabrication d'un Mems : pointes avec disque d'oxyde se détachant. Comme le silicium se d

Etape de la fabrication d'un Mems : pointes avec disque d'oxyde se détachant. Comme le silicium se détache plus lentement lorsqu'il est sous un masque, il prend progressivement la forme d'une pointe. Au bout du compte, la surface du piédestal supportant les disques est tellement réduite que ceux-ci se détachent. Les micromachines ou Mems (Micro-Electro-Mechanical Systems) sont des composants électroniques très rapides qui comportent au moins un élément mobile ou vibrant. Cela leur permet d'agir directement sur la lumière, une onde électromagnétique ou une faible masse.