Microcapteur de gaz monté en boîtier avant dépôt de la couche sensible. Sur l'écran les électrodes i

Microcapteur de gaz monté en boîtier avant dépôt de la couche sensible. Sur l'écran les électrodes interdigitées de contacts (zone centrale active du capteur) et le serpentin correspondant à une résistance chauffante en titane/platine intégrés dans une membrane d'oxyde et de nitrure de 1.5 µm d'épaisseur. Ce dispositif permet de porter la zone active du capteur jusqu'à 600° C pour optimiser la détection de gaz. L'objectif est de réaliser une plateforme chauffante stable et reproductible pour capteurs et multicapteurs de gaz conductimétriques (capteurs basés sur la mesure de variation de résistance en fonction de l'adsorption de gaz). Les applications sont les capteurs de gaz à bas coût pour l'automobile, l'environnement et l'industrie.