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Référence
20120001_1801
Echantillon placé à l'intérieur d'un Dual Beam, un bâti composé de deux faisceaux : microscope élect
Echantillon placé à l'intérieur d'un Dual Beam, un bâti composé de deux faisceaux : microscope électronique à balayage (MEB) et focused ion beam (FIB) ou faisceau d'ions focalisé. Il permet de réaliser des images et de graver la matière à haute résolution, les résolutions respectives étant 1 nm et 4 nm. Les principales applications sont la caractérisation haute résolution d'échantillons et la gravure localisée, notamment pour des applications en nanophotonique.
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