Masque de lithographie positive pour dessiner les électrodes métalliques d'un microréacteur plasma

Masque de lithographie positive pour dessiner les électrodes métalliques d'un microréacteur plasma. Afin de faire circuler un courant électrique à travers le microréacteur et ainsi générer un plasma, il faut y déposer des électrodes métalliques. Pour cela, le microréacteur est exposé aux ultraviolets avec un masque qui va dessiner la géométrie des électrodes. Une mince couche métallique est ensuite déposée par pulvérisation : elle suivra alors le dessin du masque. Cette étape de fabrication est réalisée dans une salle spécifique, appelée salle blanche, dans laquelle n'entrent ni poussières, ni polluants. Le plasma, qui est un état énergétique de la matière, ouvre la voie à des procédés chimiques industriels plus sûrs, plus efficaces et respectueux de l’environnement. Pour maîtriser cette approche, les scientifiques imaginent, développent et testent des réacteurs miniatures et étudient les écoulements des fluides qui les traversent (plasma, liquide) : c'est la microfluidique.

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Ces recherches ont été financées en tout ou partie par l'Agence Nationale de la Recherche (ANR) au titre du projet ANR Plasm4chem – AAPG2018. Ce reportage a été réalisé et financé dans le cadre de l'appel à projet Sciences Avec et Pour la Société - Culture Scientifique Technique et Industrielle (SAPS-CSTI).