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Plasma microreactors for future chemistry

Plasma, an energetic state of matter, opens the way to safer, more efficient and environmentally-friendly industrial chemical processes.

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To master this approach, scientists working on the Plas4Chem project are designing, developing and testing miniature reactors and studying the flow of fluids (plasma, liquid) through them: this is microfluidics. This report was produced and financed as part of the "Science Avec et Pour la Société" (SAPS) call for projects.
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Microréacteur plasma. Le plasma, qui est un état énergétique de la matière, ouvre la voie à des procédés chimiques industriels plus sûrs, plus efficaces et respectueux de l’environnement. Pour maîtriser cette approche, les scientifiques imaginent, développent et testent des réacteurs miniatures et étudient les écoulements des fluides qui les traversent (plasma, liquide) : c'est la microfluidique. ------------------- Ces recherches ont été financées en tout ou partie par l'Agence Nationale de…

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Microréacteur plasma
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Discussion sur la géométrie optimale d'un microréacteur plasma. L'un des premiers enjeux dans la mise au point des microréacteurs est de trouver la géométrie qui sera la plus adaptée à la réaction chimique ciblée. Le plasma, qui est un état énergétique de la matière, ouvre la voie à des procédés chimiques industriels plus sûrs, plus efficaces et respectueux de l’environnement. Pour maîtriser cette approche, les scientifiques imaginent, développent et testent des réacteurs miniatures et étudient…

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Discussion sur la géométrie optimale d'un microréacteur plasma
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Fabrication des canaux d'un microréacteur plasma par gravure laser. La gravure laser sert à creuser les canaux du microréacteur, à travers lesquels les fluides circulent et la réaction chimique se fait. Le plasma, qui est un état énergétique de la matière, ouvre la voie à des procédés chimiques industriels plus sûrs, plus efficaces et respectueux de l’environnement. Pour maîtriser cette approche, les scientifiques imaginent, développent et testent des réacteurs miniatures et étudient les…

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Fabrication des canaux d'un microréacteur plasma par gravure laser
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Assemblage d'un microréacteur plasma. Après avoir gravé les canaux du microréacteur, il faut l'assembler et le fermer. L'assemblage d'un microréacteur plasma se réalise en deux étapes : il passe d'abord à la presse (à gauche) puis est scellé par cuisson à haute température dans un four (à droite). Cet assemblage est réalisé dans une salle spécifique, appelée salle grise, dans laquelle n'entrent ni poussières, ni polluants. Le plasma, qui est un état énergétique de la matière, ouvre la voie à…

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Assemblage d'un microréacteur plasma
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Assemblage d'un microréacteur plasma. Après avoir gravé les canaux du microréacteur, il faut l'assembler et le fermer. L'assemblage d'un microréacteur plasma se réalise en deux étapes : il passe d'abord à la presse (à gauche) puis est scellé par cuisson à haute température dans un four. Cet assemblage est réalisé dans une salle spécifique, appelée salle grise, dans laquelle n'entrent ni poussières, ni polluants. Le plasma, qui est un état énergétique de la matière, ouvre la voie à des procédés…

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Assemblage d'un microréacteur plasma
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Pressage d'un microréacteur plasma. Après avoir gravé les canaux du microréacteur, il faut l'assembler et le fermer. L'assemblage d'un microréacteur plasma se réalise en deux étapes : il passe d'abord à la presse puis est scellé par cuisson à haute température dans un four. Cet assemblage est réalisé dans une salle spécifique, appelée salle grise, dans laquelle n'entrent ni poussières, ni polluants. Le plasma, qui est un état énergétique de la matière, ouvre la voie à des procédés chimiques…

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Pressage d'un microréacteur plasma
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Scellage d'un microréacteur plasma par cuisson à haute température. Après avoir gravé les canaux du microréacteur, il faut l'assembler et le fermer. L'assemblage d'un microréacteur plasma se réalise en deux étapes : il passe d'abord à la presse, puis il est scellé par cuisson en le passant dans un four à haute température. Le plasma, qui est un état énergétique de la matière, ouvre la voie à des procédés chimiques industriels plus sûrs, plus efficaces et respectueux de l’environnement. Pour…

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Scellage d'un microréacteur plasma par cuisson à haute température
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Masque de lithographie positive pour dessiner les électrodes métalliques d'un microréacteur plasma. Afin de faire circuler un courant électrique à travers le microréacteur et ainsi générer un plasma, il faut y déposer des électrodes métalliques. Pour cela, le microréacteur est exposé aux ultraviolets avec un masque qui va dessiner la géométrie des électrodes. Une mince couche métallique est ensuite déposée par pulvérisation : elle suivra alors le dessin du masque. Cette étape de fabrication est…

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Masque de lithographie positive pour dessiner les électrodes métalliques d'un microréacteur plasma
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Exposition d'un microréacteur plasma aux ultraviolets avec un masque pour en appliquer la géométrie. Afin de faire circuler un courant électrique à travers le microréacteur et ainsi générer un plasma, il faut y déposer des électrodes métalliques. Pour cela, le microréacteur est exposé aux ultraviolets avec un masque qui va dessiner la géométrie des électrodes. Une mince couche métallique est ensuite déposée par pulvérisation : elle suivra alors le dessin du masque. Cette étape de fabrication…

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Exposition d'un microréacteur plasma aux ultraviolets avec un masque pour en appliquer la géométrie
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Exposition d'un microréacteur plasma aux ultraviolets avec un masque pour en appliquer la géométrie. Afin de faire circuler un courant électrique à travers le microréacteur et ainsi générer un plasma, il faut y déposer des électrodes métalliques. Pour cela, le microréacteur est exposé aux ultraviolets avec un masque qui va dessiner la géométrie des électrodes. Une mince couche métallique est ensuite déposée par pulvérisation : elle suivra alors le dessin du masque. Cette étape de fabrication…

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Exposition d'un microréacteur plasma aux ultraviolets avec un masque pour en appliquer la géométrie
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Dépôt mince d'électrodes métalliques, ou "sputtering", sur un microréacteur plasma. Afin de faire circuler un courant électrique à travers le microréacteur et ainsi générer un plasma, il faut y déposer des électrodes métalliques, ici en utilisant la pulvérisation plasma à basse pression. Elle est réalisée dans une salle spécifique, dite salle blanche, dans laquelle n'entrent ni poussières, ni polluants. Le plasma, qui est un état énergétique de la matière, ouvre la voie à des procédés chimiques…

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Dépôt mince d'électrodes métalliques, ou "sputtering", sur un microréacteur plasma
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Dépôt mince d'électrodes métalliques, ou "sputtering", sur un microréacteur plasma. Afin de faire circuler un courant électrique à travers le microréacteur et ainsi générer un plasma, il faut y déposer des électrodes métalliques, ici en utilisant la pulvérisation plasma à basse pression. Elle est réalisée dans une salle spécifique, dite salle blanche, dans laquelle n'entrent ni poussières, ni polluants. Le plasma, qui est un état énergétique de la matière, ouvre la voie à des procédés chimiques…

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Dépôt mince d'électrodes métalliques, ou "sputtering", sur un microréacteur plasma
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Dépôt mince d'électrodes métalliques, ou "sputtering", sur un microréacteur plasma. Afin de faire circuler un courant électrique à travers le microréacteur et ainsi générer un plasma, il faut y déposer des électrodes métalliques, ici en utilisant la pulvérisation plasma à basse pression. Elle est réalisée dans une salle spécifique, dite salle blanche, dans laquelle n'entrent ni poussières, ni polluants. Le plasma, qui est un état énergétique de la matière, ouvre la voie à des procédés chimiques…

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Dépôt mince d'électrodes métalliques, ou "sputtering", sur un microréacteur plasma
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Dépôt mince d'électrodes métalliques, ou "sputtering", sur un microréacteur plasma. Afin de faire circuler un courant électrique à travers le microréacteur et ainsi générer un plasma, il faut y déposer des électrodes métalliques, ici en utilisant la pulvérisation plasma à basse pression. Elle est réalisée dans une salle spécifique, dite salle blanche, dans laquelle n'entrent ni poussières, ni polluants. Le plasma, qui est un état énergétique de la matière, ouvre la voie à des procédés chimiques…

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Dépôt mince d'électrodes métalliques, ou "sputtering", sur un microréacteur plasma
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Dépôt mince d'électrodes métalliques, ou "sputtering", sur un microréacteur plasma. Afin de faire circuler un courant électrique à travers le microréacteur et ainsi générer un plasma, il faut y déposer des électrodes métalliques, ici en utilisant la pulvérisation plasma à basse pression. Elle est réalisée dans une salle spécifique, dite salle blanche, dans laquelle n'entrent ni poussières, ni polluants. Le plasma, qui est un état énergétique de la matière, ouvre la voie à des procédés chimiques…

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Dépôt mince d'électrodes métalliques, ou "sputtering", sur un microréacteur plasma
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Observation des canaux d'un microréacteur plasma par microscopie optique. Afin de vérifier la qualité d'un microréacteur avant de l'utiliser, ses canaux sont vérifiés grâce à la microscopie optique. Le plasma, qui est un état énergétique de la matière, ouvre la voie à des procédés chimiques industriels plus sûrs, plus efficaces et respectueux de l’environnement. Pour maîtriser cette approche, les scientifiques imaginent, développent et testent des réacteurs miniatures et étudient les…

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Observation des canaux d'un microréacteur plasma par microscopie optique
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Observation des électrodes d'un microréacteur plasma par profilométrie optique. Afin de vérifier la qualité d'un microréacteur avant de l'utiliser, ses électrodes sont vérifiées grâce à la profilométrie optique, une technique de mesure sans contact qui cartographie leur surface. Le plasma, qui est un état énergétique de la matière, ouvre la voie à des procédés chimiques industriels plus sûrs, plus efficaces et respectueux de l’environnement. Pour maîtriser cette approche, les scientifiques…

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Observation des électrodes d'un microréacteur plasma par profilométrie optique
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Observation des électrodes d'un microréacteur plasma par profilométrie optique. Afin de vérifier la qualité d'un microréacteur avant de l'utiliser, ses électrodes sont vérifiées grâce à la profilométrie optique, une technique de mesure sans contact qui cartographie leur surface. Le plasma, qui est un état énergétique de la matière, ouvre la voie à des procédés chimiques industriels plus sûrs, plus efficaces et respectueux de l’environnement. Pour maîtriser cette approche, les scientifiques…

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Observation des électrodes d'un microréacteur plasma par profilométrie optique
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Pose des connexions microfluidiques et électriques sur un microréacteur plasma. Afin de faire circuler les différents fluides et un courant électrique à travers le microréacteur, pour générer un plasma, il doit être équipé de différentes connexions microfluidique et électriques. Le plasma, qui est un état énergétique de la matière, ouvre la voie à des procédés chimiques industriels plus sûrs, plus efficaces et respectueux de l’environnement. Pour maîtriser cette approche, les scientifiques…

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Pose des connexions microfluidiques et électriques sur un microréacteur plasma
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Pose des connexions microfluidiques et électriques sur un microréacteur plasma. Afin de faire circuler les différents fluides et un courant électrique à travers le microréacteur, pour générer un plasma, il doit être équipé de différentes connexions microfluidique et électriques. Le plasma, qui est un état énergétique de la matière, ouvre la voie à des procédés chimiques industriels plus sûrs, plus efficaces et respectueux de l’environnement. Pour maîtriser cette approche, les scientifiques…

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Pose des connexions microfluidiques et électriques sur un microréacteur plasma
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Pose des connexions microfluidiques et électriques sur un microréacteur plasma. Afin de faire circuler les différents fluides et un courant électrique à travers le microréacteur, pour générer un plasma, il doit être équipé de différentes connexions microfluidique et électriques. Le plasma, qui est un état énergétique de la matière, ouvre la voie à des procédés chimiques industriels plus sûrs, plus efficaces et respectueux de l’environnement. Pour maîtriser cette approche, les scientifiques…

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Pose des connexions microfluidiques et électriques sur un microréacteur plasma
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Pose des connexions microfluidiques et électriques sur un microréacteur plasma. Afin de faire circuler les différents fluides et un courant électrique à travers le microréacteur, pour générer un plasma, il doit être équipé de différentes connexions microfluidique et électriques. Le plasma, qui est un état énergétique de la matière, ouvre la voie à des procédés chimiques industriels plus sûrs, plus efficaces et respectueux de l’environnement. Pour maîtriser cette approche, les scientifiques…

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Pose des connexions microfluidiques et électriques sur un microréacteur plasma
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Pose des connexions microfluidiques et électriques sur un microréacteur plasma. Afin de faire circuler les différents fluides et un courant électrique à travers le microréacteur, pour générer un plasma, il doit être équipé de différentes connexions microfluidique et électriques. Le plasma, qui est un état énergétique de la matière, ouvre la voie à des procédés chimiques industriels plus sûrs, plus efficaces et respectueux de l’environnement. Pour maîtriser cette approche, les scientifiques…

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Pose des connexions microfluidiques et électriques sur un microréacteur plasma
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Pose des connexions microfluidiques et électriques sur un microréacteur plasma. Afin de faire circuler les différents fluides et un courant électrique à travers le microréacteur, pour générer un plasma, il doit être équipé de différentes connexions microfluidique et électriques. Le plasma, qui est un état énergétique de la matière, ouvre la voie à des procédés chimiques industriels plus sûrs, plus efficaces et respectueux de l’environnement. Pour maîtriser cette approche, les scientifiques…

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Pose des connexions microfluidiques et électriques sur un microréacteur plasma
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Microréacteur plasma en fonctionnement. Ici, le microréacteur est branché à un générateur électrique pour générer un plasma. Les différents fluides circulent à travers le microréacteur pour permettre à la réaction chimique d'avoir lieu. Le plasma et les réactifs chimiques liquides s'écoulent de manière continue à l'intérieur du microréacteur. Les produits de la réaction chimique sont collectés à la sortie du microréacteur, dans une petite fiole, puis seront analysés. Le plasma, qui est un état…

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Microréacteur plasma en fonctionnement
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Microréacteur plasma en fonctionnement. Ici, le microréacteur est branché à un générateur électrique pour générer un plasma. Les différents fluides circulent à travers le microréacteur pour permettre à la réaction chimique d'avoir lieu. Le plasma et les réactifs chimiques liquides s'écoulent de manière continue à l'intérieur du microréacteur. Les produits de la réaction chimique sont collectés à la sortie du microréacteur, dans une petite fiole, puis seront analysés. Le plasma, qui est un état…

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Microréacteur plasma en fonctionnement
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Microréacteur plasma en fonctionnement. Ici, le microréacteur est branché à un générateur électrique pour générer un plasma. Les différents fluides circulent à travers le microréacteur pour permettre à la réaction chimique d'avoir lieu. Le plasma et les réactifs chimiques liquides s'écoulent de manière continue à l'intérieur du microréacteur. Les produits de la réaction chimique sont collectés à la sortie du microréacteur, dans une petite fiole, puis seront analysés. Le plasma, qui est un état…

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Microréacteur plasma en fonctionnement
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Microréacteur plasma en fonctionnement. Ici, le microréacteur est branché à un générateur électrique pour générer un plasma. Les différents fluides circulent à travers le microréacteur pour permettre à la réaction chimique d'avoir lieu. Le plasma et les réactifs chimiques liquides s'écoulent de manière continue à l'intérieur du microréacteur. Les produits de la réaction chimique sont collectés à la sortie du microréacteur, dans une petite fiole, puis seront analysés. Le plasma, qui est un état…

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Microréacteur plasma en fonctionnement
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Analyse des produits chimiques synthétisés par un microréacteur plasma. Les produits des réactions chimiques collectés à la sortie des microréacteurs sont analysés. Ils sont identifiés et quantifiés, ici, grâce à la chromatographie en phase gazeuse. Le plasma, qui est un état énergétique de la matière, ouvre la voie à des procédés chimiques industriels plus sûrs, plus efficaces et respectueux de l’environnement. Pour maîtriser cette approche, les scientifiques imaginent, développent et testent…

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Analyse des produits chimiques synthétisés par un microréacteur plasma
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Analyse des produits chimiques synthétisés par un microréacteur plasma. Les produits des réactions chimiques collectés à la sortie des microréacteurs sont analysés. Ils sont identifiés et quantifiés, ici, grâce à la chromatographie en phase gazeuse. Le plasma, qui est un état énergétique de la matière, ouvre la voie à des procédés chimiques industriels plus sûrs, plus efficaces et respectueux de l’environnement. Pour maîtriser cette approche, les scientifiques imaginent, développent et testent…

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Analyse des produits chimiques synthétisés par un microréacteur plasma
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Microréacteur plasma. Le plasma, qui est un état énergétique de la matière, ouvre la voie à des procédés chimiques industriels plus sûrs, plus efficaces et respectueux de l’environnement. Pour maîtriser cette approche, les scientifiques imaginent, développent et testent des réacteurs miniatures et étudient les écoulements des fluides qui les traversent (plasma, liquide) : c'est la microfluidique. ------------------- Ces recherches ont été financées en tout ou partie par l'Agence Nationale de…

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Microréacteur plasma

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