Image d'un micromoteur électrostatique prise au microscope électronique à balayage . Ce micromoteur

Image d'un micromoteur électrostatique prise au microscope électronique à balayage . Ce micromoteur électrostatique est un démonstrateur d'actionneur réalisé de façon à être compatible avec les technologies de la microélectronique. Il entre dans le cadre de l'étude de l'intégration des microsystèmes pour laquelle il est nécessaire de savoir intégrer capteurs, électronique de traitement du signal et actionneurs, grâce au développement des technologies monolithiques sur silicium et des technologies d'assemblages. Cela a permis l'aboutissement des premières grandes applications industrielles des microsystèmes électromécaniques (MEMS): accéléromètre d'air bag et buses d'imprimantes à jet d'encre.