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Référence
20220116_0091
Recuit rapide (RTA ou Rapid thermal anneal) sous atmosphère contrôlée
Recuit rapide (RTA ou Rapid thermal anneal) sous atmosphère contrôlée. L'Institut photovoltaïque d'Ile-de-France (IPVF) dispose de plusieurs fours, à recuit rapide ou à diffusion plus lente sous différentes atmosphères, ainsi que des étuves de séchage. Ils sont particulièrement importants pour les procédés semiconducteurs.
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